湖南信息产业厅

　　我们所是1964年5月组建的国家骨干军工科研院所，全称为中国电子科技集团公司第四十八研究所，简称为48所，位于湖南省长沙市南郊，全所占地面积2224亩，现有总资产4.43亿元。现有在职职工774人，离退休职工582人。在职职工中科技人员465人（其中工程师240人，高级工程师96人，教授级高级工程师19人、享受政府津贴的专家20人）。全所技术专业配套，拥有离子光学、电子光学、精密机械、真空技术、电子技术、计算机技术、自动控制等50余个专业门类。我所是国内唯一以“三束”（电子束、离子束、分子束）微细加工新工艺技术为主的军民两用型电子专用装备研究所，主要任务是军民结合、保军转民的各类电子元器件制造关键工艺装备和军用特种材料及军用特种传感器的研制生产。经过数十年的奋斗，我所现已成为国家级的微电子、光电子、太阳能电池、电力电子、磁性材料等专用设备研发、生产的专业机构，是国内半导体装备的主要供应商、太阳能电池制造装备和磁性材料制造装备的最大供应商、国家离子注入机等半导体专用设备研发中心和产业化生产基地、军用合金薄膜压力传感器和SOI材料定点研发生产基地、科技部和北京市晶体硅太阳能电池生产示范单位。我所的产品现已出口欧洲、西亚、新加坡等13个国家并已覆盖国内包括台湾、香港在内的29个省市区。我所研发生产的产品绝大部分是国外对我国禁运封锁的在军品研制生产、国防重点工程配套和国民经济建设过程中所需的关键产品。全所历年来共获得260余项科研成果，其中：省、部级以上科研成果奖项82项，填补国内空白项目95项，达到国际先进水平项目52项，列为国家替代进口项目44项。我所还获得了由信息产业部颁发的《军工电子装备科研生产许可证》、是总装备部表彰的《“十五”军用电子元器件科研生产先进单位》。
　　我所历来重视科技进步与自主创新工作，自1995年至2003年连续多次被信息产业部、国防科工委和总装备部等授予“科技创新先进集体”荣誉称号。近几年来，特别是新一届所领导班子上任后，为更好地贯彻落实科学发展观，实现又好又快持续健康的协调发展，针对自身特点，不断探索和开辟技术进步与技术创新、自主创新的新路子。因此，被信息产业部授予2006年度“信息产业科技创新先进集体”荣誉称号，同时，还被湖南省授予2006年度“湖南省文明单位”光荣称号。
　　一、用科学发展观指导自主创新，抓住新形势下IT业发展竞争的关键
　　2004年5月，胡锦涛总书记在江苏考察工作时指出，“当今世界，科学技术正在酝酿着新的重大突破，一场新的科技革命和产业革命正在孕育之中。能否抓住机遇，大力推进科技进步和创新，直接关系全面建设小康社会、加快社会主义现代化的进程。为此，必须大力增强科技自主创新能力，选择一些有基础、有优势、有条件、对经济社会发展有重大意义的方向和领域进行攻关，尽快掌握一批核心技术，拥有一批自主知识产权；必须加快科技成果向现实生产力的转化，大力发展高新技术产业，用高新技术和先进适用技术改造提升传统产业，提高产品的科技含量和质量档次；必须促进科技力量整合，打破部门分割，强化组织协调，实现产学研相结合，形成推动科技进步和创新的强大合力；必须充分发挥企业在科技进步和创新中的重要作用，使之真正成为进行技术创新和科技成果转化的主体”（原文见《求是》杂志2005年第一期）。
　　科技进步与自主创新是科学发展观的重要内容。我们所领导班子在认真学习领会新一届党中央国务院领导集体关于科学发展观重要论述时，针对前些年我们所经济总量低、技术储备少、发展后劲不足的状况，下定决心从自主创新上下功夫。
　　一是在指导思想上突出自主创新。2005年我们所在《五年发展规划》中明确提出，在发展的指导思想上要做到“三个坚持”，即坚持把科技进步和创新作为所经济发展的首要推动力量，坚持把科技创新成果尽快转化为产业作为第一要务，坚持把提高自主创新能力作为调整产品结构、转变增长方式、提高所的竞争力的中心环节。根据这个发展思路，制定了一系列鼓励科技创新的政策，不断对技术人员提出新要求，号召全所技术人员勇于探索新工艺，勇于攻克技术难点，勇于承担高难度的项目，以达到提高水平、锻炼队伍、拓展市场、获取更大效益的目的。
　　这几年，以我所为主组建的北京中科信电子装备公司，承担国家“863计划”集成电路制造装备重大专项100nm大角度离子注入机项目的研发任务。技术团队团结协作，发扬“特别能吃苦、特别能战斗、特别能攻关、特别能奉献”的载人航天精神，历经3年多的艰苦奋战，终于研制出了具有自主知识产权的100nm大角度离子注入机，项目于2006年9月28日顺利通过了国家科技部和北京人民政府组织的验收，并与国际主流的大生产线签订了批量采购合同，还实现了出口。该装备的研制成功，实现了我国高端集成电路核心设备零的突破，技术水平跨越5代。国外离子注入机技术发展，从500纳米跨越到100纳米大角度用了10至15年，而我国仅仅用了3年的时间。3年，在1100多个日日夜夜里，依靠一群平均年龄不到35岁的技术骨干，走完了发达国家15年才完成的研发历程。这项成果被评为全国信息科技2006年八大发明之一。
　　我们这个项目之所以能获得巨大的成功，皆源自于自主创新。国际上离子注入机最大的生产商是美国的Varian、Axcelis、Applied、Materials以及与他们在海外的合资公司等，掌握着核心的技术，生产的的离子注入机占据了几乎全部主流生产线，几乎垄断了全部的离子注入机市场。“九五”末期，我国集成电路装备的水平为6英寸500nm，与当时国外领先的8英寸100nm大角度离子注入机生产水平相差5个技术代，国内所有8英寸以上生产线没有一台国产设备。面对技术的封锁和垄断，我们没有退缩，坚信历尽千难成此境，人间万事出艰辛。无论在技术上还是在机制体制上都采用新的模式，确保优质高效的完成。
　　2001至2006年，全所共承担重点军工任务56项，预研项目（含支撑）：13项；新品项目（含支撑）：28项；系列型谱科研项目：10项；军品863项目：2项；技术改造项目：1项；“973”基础科研项目：1项；军工配套项目：1项。
　　通过这些项目，开发出来的具有自主知识产权的大量军工产品已大面积服务于×××等多项国防重点型号工程。此时同时，全所还承担并圆满完成了民品科技攻关任务22项，其中：“863计划”重大专项：3项；国家发改委重大专项：2项；电子发展基金项目：8项；其他项目：9项。
　　二是在政策上支持和鼓励自主创新。我们所制定了《四十八所鼓励科技创新实施条例》，从项目立项、经费支持、奖惩措施等方面对鼓励科技创新作出明确规定。在项目立项上，我所2005年开始，通过年初的“科技创新项目立项评审”来启动年度科技创新项目，当年就确立了12个创新项目，已完成8个；2006年确立了17个，已完成12个;2007年正在确立之中。在经费支持上，按《条例》规定，所里每年拿出销售收入的5%作为年度研究开发费用，设立了科技创新专项资金，加大对科技创新项目的投入力度。近两年共投入了3000余万元用于新技术开发。还自筹资金在北京建立了太阳能电池片实验生产线，利用自主研发生产的设备探索产业化发展道路。　　
　　在奖惩措施上，把技术创新指标纳入部门目标考核管理，完成不好的部门要追究领导责任。对科研人员提出年度创新要求，达不到要求的要降低聘用职务、降低岗位工资。对科技创新先进集体和个人予以重奖。两年来共重奖了2个先进集体和9名先进个人。
　　三是把自主创新和科研生产紧密结合起来。我所坚持科技创新和科研生产同步进行，把二者紧密结合起来。通过科技创新推动科研生产，把科研生产中遇到的难题努力通过科技创新加以解决。这样不仅推动了科技创新，同时促进了科研生产任务的全面完成，实现了双赢。如在承担国家863计划集成电路制造装备重大专项“100nm大角度离子注入机”项目时，我们紧盯国际先进设备的技术前沿，充分利用已有的技术基础，坚持自主创新，科学求实，团结协作，采取调研类比、理论计算、试制实验等方式，对关键技术进行逐一突破与创新，先后研发完成了研究关键技术所需的离子源参数测试设备与试验机、真空模拟系统、注入靶模拟系统、污染分析与测试等试验平台及原理样机。历时两年多艰苦攻关，打破了国外尖端技术的封锁，突破了工艺技术、长寿命离子源技术、离子光学技术、平行束技术、靶室技术、控制技术等一系列关键技术，完成了α机的研制，经过不断提升，最终研制出了具有自主知识产权的、满足100nm工艺要求的离子注入机，整机国产化率已经达到了70%。100nm大角度离子注入机研发过程中，共申请了各项专利137项，己颁发受理通知书109项，其中核心发明专利26项，登记软件版权7项，初步构建起自主知识产权保护体系。掌握了100nm大角度离子注入机设计与制造的各项核心技术，实现了集成电路装备制造业的跨越式发展，提高了我国制造业的综合竞争能力，大大提升了我国开发具有自主知识产权的集成电路制造装备的技术实力和自主创新能力，在关键装备的技术领域实现了突破和跨越，彻底打破了国外的垄断。对此，国家科技部等部门给予高度评价，信息产业部授予该项目2006年度“重大技术发明奖”，国防科工委授予该项目“2006年度国防科技工业十大新闻”等，中央电视台、光明日报、科技日报等媒体对项目的成功进行了系列报道。全球第三大芯片代工厂——中芯国际在项目验收后很快签订了两台购买合同并很快向日本出口了一台，价值400多万美元。
　　自主创新带动了全所产业的发展。这两年来我所的拳头产品电子工业窑炉占领了国内70%的市场，年产值15亿元；太阳能电池设备2005年实现批量生产，年产值过亿元。我所连续两年超额完成了集团公司下达的年度经济责任指标，产值增长率和利润增长率在集团公司47个研究所中分别居第3名、第4名。
　　2006年全所全年总收入、主营业务收入、实现利润总额等经济指标分别比2004年增长109、96%、116、49%、215、98%，职工人均收入与2004年比翻了两番。
　　二、用科学发展观指导体制改革，不断激发自主创新活力
　　2004年6月2日，在中国科学院第十二次院士大会、中国工程院第七次院士大会上，胡锦涛同志代表党中央在讲话中再次强调要深入科技体制改革，要适应国家发展需要和世界科技发展形势，改革科技管理体制，加快国家创新体系建设，提高科技创新能力，进一步密切科技和经济社会发展的结合。
　　为了寻求更大的发展，我们研究所在科学发展观指导下，按照现代企业运作的要求，大胆破除求稳怕乱的保守观念和按部就班的传统观念，在战略布局上、在内部机构上、在用人机制上进行了大刀阔斧的改革，不断激发内部的活力。
　　一是从战略布局上着眼。前些年由于受传统体制的束缚，我们研究所科研生产经营的格局视野比较窄，活动范围比较小，严重影响了所的对外交往和发展。为了适应市场经济的需要，就必须不断开辟新的阵地，把科研生产经营做大做强。经过调查分析，结合实际情况，我们研究所2005年确立了“立足长沙，巩固北京，辐射全国，走向世界”的战略布局。即以长沙为本部、北京有分所（公司）、上海有窗口、国外有办事处、高校有实验室的开放式国际化交流合作平台。如今已在逐步实施。在北京设立了公司，建成了14000m2的现代化厂房，建立起了半导体关键装备研发及产业化基地，和北大、清华等高校进行合作，在用户集中地区设立办事处等等。针对当前太阳能光伏产业飞速发展和我国能源问题等现状，我所又提出了在长沙打造晶体硅太阳能光伏产业链的设想并得到了省市政府尤其是信息产业厅的大力支持，在高新区先期建设太阳能光伏装备和电池片生产示范线的工作已在开展之中。
　　　　通过这种布局调整，建立了以企业为主体，市场为导向，产学研相结合的新模式，整合了资源，扩大了规模，收到了好的效益并将为所的发展奠定更坚实的基础。
　　二是从内部机构改革着力。以前我们研究所设有内部机构18个，其中科研生产经营部门8个，其他部门10个，存在着机构臃肿、设置不合理、工作效率低、运行成本高等弊端，严重影响了职工的积极性，影响了科研生产任务的完成。从2005年开始，我们以市场为导向，以科研生产经营为中心，本着积极慎重的原则，先后三次对内部机构进行了改革，消除存在的弊端。通过改革，科研生产经营部门增至11个，其他部门精简至5个，充实了科研生产经营机构，分流了富余人员，进一步明晰了各机构的责、权、利，保障了科研生产经营高效有序运转。
　　三是从用人制度改革着力。在干部这个层面上，实行了中层干部竞聘上岗，人员由39人减为27人，平均年龄由493岁降为391岁，干部队伍精干、年轻了；加大了对中层干部的培养力度，制定了“能干能说能写”的培养方案，认真实施，严格考核；加强对中层干部的管理，实行中层干部末位淘汰制。在普通职工这个层面上，实行岗位竞聘，对于没有竟聘上的职工，采取待岗自学和内部退养的办法。2005年通过岗位调整，全所共有564人上岗，30人待岗自学，166人办理内退。科研生产经营人员与其他人员的比例由原来的1∶1变为5∶1。这种用人机制的改革，充实了一线力量，不仅激发了干部和职工的工作积极性，也为他们的成长提供了舞台。全所干部职工在为国防事业、为所的发展作出贡献的同时，也为自己带来了良好的经济效益。
　　三、用科学发展观指导立章建制，努力形成自主创新的良好氛围
　　我们所在依靠科技进步和自主创新促进发展的过程中，十分注意抓好规章制度建设，用规章制度来管事、管人，发扬民主、集思广益、开源节流，调动全所积极性，形成开拓进取、群策群力、团结和谐的创新环境。
　　一是推行所务公开制度。为了加强内部管理，完善内部监督机制，我所充分发挥职代会民主管理和民主监督的作用。坚持有关改革经营决策等重大事项向职代会报告，经职代会审议通过或决定后实施；对群众关心的，涉及到职工切身利益的事项，邀请职工代表参与，并及时向职工通报有关进展情况；对所里的财务状况、奖金分配、部门成本核算及任务完成情况等在中层干部内定期公布；以公开栏的形式，对适宜公开，应该让大家知情、需要大家监督的事项进行公示。
　　二是推行成本管理制度。为了有效控制科研生产各环节的成本,我所强化“节约就是利润”、“向管理要效益”的理念。2005年3月专门成立了生产调度与成本核算中心，对全所的收支状况进行实时监控。同时在加强物资采购监控、增加物资采购透明度方面实现了采购权与审批权的分离。对于大宗物资采购实行公示，把采购人员、采购的数量、价格、供应商等信息张贴于所内4个地点，接受全所职工监督。通过这个措施，两年来节约采购资金百万余元，不仅使广大干部职工树立了节约的意识，而且有效地杜绝了腐败，保护了干部和职工。
　　三是推行质量管理制度。我们研究所坚持“质量产生效益”的原则，推行了“用质量赢得信用，用信用赢得市场，用市场赢得效益”的质量信用体系，把用户满意作为永远的追求，推动质量管理水平不断向前发展，确保了承担的各类军工或民用产品的质量。我们研究所已全面实施了2000版ISO9001及GJB9001A质量管理体系，并通过了新时代的军品质量体系监督审核，是唯一通过军工质量保证体系认证的国内电子专用设备单位，获得了信息产业部首批颁发的《军工电子装备科研生产许可证》。
　　科学发展观指导我所步入了发展新阶段，自主创新让我所在新形势下创造了辉煌业绩。放眼未来，我们信心满怀。我们将继续深入贯彻落实科学发展观，坚持自主创新，努力打造“长沙为本部、北京有公司、上海有窗口、高校有实验室、国外有办事处”的开放式国际化交流合作平台，为国家科技创新和国民经济的发展贡献专业研究所应尽的义务和力量。